塔城股票配资公司 捷佳伟创获得实用新型专利授权:“硅片载具支撑装置及硅片反应设备”

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发布日期:2025-04-05 07:42    点击次数:188

塔城股票配资公司 捷佳伟创获得实用新型专利授权:“硅片载具支撑装置及硅片反应设备”

本站消息塔城股票配资公司,根据天眼查APP数据显示捷佳伟创(300724)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“硅片载具支撑装置及硅片反应设备”,专利申请号为CN202421238250.4,授权日为2025年4月4日。

专利摘要:本实用新型公开了硅片载具支撑装置及应用其的硅片反应设备,硅片载具支撑装置包括第一固定法兰、第二固定法兰和至少一组支撑组件;支撑组件包括设置于第一固定法兰的第一支撑座、设置于第二固定法兰的第二支撑座和支撑杆,支撑杆一端与第一支撑座抵接或连接,支撑杆另一端与第二支撑座抵接或连接;第一支撑座内部设置有第一冷却液体通道和/或第二支撑座内部设置有第二冷却液体通道。使用时,能够往第一冷却液体通道和/或第二冷却液体通道内部通入冷却液体,使得第一支撑座和/或第二支撑座能够在高温的环境下保持相对较低的温度,因此第一支撑座和/或第二支撑座可以保持足够的刚性以支撑承托支撑杆。

今年以来捷佳伟创新获得专利授权36个,较去年同期增加了89.47%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2.91亿元,同比增34.78%。

数据来源:天眼查APP

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